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Characterization of microelectromechanical systems by digital holography method

  Articoli su Riviste JCR/ISI  (anno 2006)

Autori:  Baltiysky S., Gurov I., De Nicola S., Ferraro P., Finizio A., Coppola G

Affiliazione Autori:  Saint Petersburg State University of Information Technologies, Mechanics and Optics 14 Sablinskaya st., Saint Petersburg, 197101, Russia; Istituto di Cibernetica del CNR "E. Caianiello", Via Campi Flegrei 34, 80078 Pozzuoli (NA), Italy; CNR - Istituto Nazionale di Ottica Applicata, Sez. di Napoli, Via Campi Flegrei 34, 80078 Pozzuoli (NA), Italy; Istituto per la Microelettronica e i Microsistemi del CNR, Via P. Castellino 11, 80131, Napoli, Italy

Riassunto:  The principle of the digital holography (DH) technique and the potentialities of the method are considered. Experimental results obtained using the DH microscopy technique for characterizing microelectromechanical systems (MEMS) are presented and discussed.

Rivista/Giornale:  IMAGING SCIENCE JOURNAL
Volume n.:  54 (2)      Pagine da: 103  a: 110
DOI: 10.1179/174313106X98746

*Impact Factor della Rivista: (2006) 0.217   *Citazioni: 4
data tratti da "WEB OF SCIENCE" (marchio registrato di Thomson Reuters) ed aggiornati a:  19/05/2019

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