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Validation of absolute planarity reference plates with a liquid mirror

  Articoli su Riviste JCR/ISI  (anno 2005)

Autori:  Vannoni M., Molesini G

Affiliazione Autori:  Istituto Nazionale di Ottica Applicata, Largo E. Fermi 6, 50125 Firenze, Italy

Riassunto:  The use of a simplified version of the liquid mirror approach to validate absolute planarity reference flats is described in detail. It is shown that the approach can serve the purpose, providing a measurement of the peak-to-valley departure from planarity that in experiments is within 7 nm uncertainty (2 sigma) over a diameter of 90 mm.

Rivista/Giornale:  METROLOGIA
Volume n.:  42 (5)      Pagine da: 389  a: 393
DOI: 10.1088/0026-1394/42/5/008

*Impact Factor della Rivista: (2005) 1.479   *Citazioni: 16
data tratti da "WEB OF SCIENCE" (marchio registrato di Thomson Reuters) ed aggiornati a:  19/05/2019

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